目前,大多數的晶體管制造都采用硅信道以及基于硅氧化物的電介質。然而,這些晶體管通常不是缺乏透明度就是不夠靈活,因而可能成為制造高整合的壓力傳感器數組與透明壓力傳感器時的一大阻礙。
UNIST的研究人員開發的這種新型的數組技術十分具有發展前景,因為它能根據偵測觸控動作產生電訊號,并同顯示偵測對象的位置以及壓力的大小,而且還較傳統的壓力傳感器更具有透明度以及消耗較低功耗,這和目前針對圖形所用的觸控傳感器是不同的。
UNIST材料科與工程研究所教授Jang-Ung Park帶領研究團隊共同進行這項研究,他們采用高度導電且帶有空氣介電層的透明石墨烯,以及能夠在可折迭基板一側擷取空氣的彈性體。
該數組能夠偵測導致氣隙介電質變形的滑動、輕觸與手指的壓力,提供一種測量壓力大小與位置的方法。再者,相較于被動矩陣類型,這種新型的數組所消耗的功率較少,反應時間也更快。
Park表示:“利用空氣作為產生場效晶體管(FET)的介電層,能夠因為石墨烯信道與空氣間的接口干凈,從而顯著提高晶體管的性能。此外,這種空氣介電層的厚度是由所施加的壓力而決定的,因此,透過這種技術,能夠更有效地偵測壓力的變化。”
這種傳感器能夠同時測量小于10kPa的任何物體,例如輕敲至大于2MPa、人體的重量等,此外,它還能應用于3D觸控面板或慢跑鞋。這項研究結果已經發表在最新一期的《自然通訊》(Nature Communications)期刊中。
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