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臺積電揭露部分先進制程秘密

2017-06-06

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臺積電生產主管秀出一張張嚴禁攝影的投影片,剖析如何善用機械學習、大數據,打造出超越三星、格羅方德的制程管理。一位臺積公關主管事后都驚訝的說,“他怎么講這么多,難道不怕競爭對手拿去抄?”

走進新竹科學園區的臺積電總部大廳,會看到墻上英文寫就的三大信條:“技術領導、制造卓越、顧客信賴”。其中,制造卓越(manufacturing excellence)一塊,臺積電過去總是諱莫如深,極少談論細節,但在同業眼里,卻是臺積電與三星、格羅方德拉開距離的真正關鍵。

5 月底的 2017 年臺灣技術論壇,臺積電首度揭露部分先進制造的秘密。首先,共同CEO魏哲家在主題演講時透露,臺積電已將當年熱門的大數據、機器學習技術,應用在制程管理,“都是為了降低我們的 cycle time(生產周期)?!?/p>

臺積電董事長張忠謀去年接受《天下》專訪時,也曾強調“在我們公司里,生產周期很重要。”

當前最先進的 IC,內部結構像是一個層層疊疊的千層蛋糕,做出每一層所花時間的平均,就稱為“生產周期”。

魏哲家說,早年在 180 納米的時代(約 15 年前),一顆 IC 內部只有 25 層,但是生產一層得花上兩天。當前最先進的 10 納米手機芯片,內部已高達 80 層,如果一層還是兩天,便代表一個產品要 160 天、將近半年才做得出來。“沒有人肯等你的,”魏哲家說。

他說,現在臺積電 10 納米的生產周期目前約 1.1~1.2 天?!拔矣幸粋€夢想,以后要做到一層一天,不能再長?!蔽赫芗覐娬{。

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生產周期已是產業勝負關鍵。一位臺積電客戶主管表示,格羅方德的生產周期約比臺積慢上 30%,這不但代表同樣一個廠,臺積電可多創造三成營收,客戶產品上市的時間,也可快上將近一個月。而一個月,在變化快速的智能手機業,往往就定生死。

而且,當半導體尺度開始逼近物理極限,生產周期還從生產力優勢,轉化為技術優勢。

例如,臺積電與三星的 7 納米競賽。臺積電的 7 納米,已經從上個月開始試產。而三星卻得等到明年,因為該公司堅持要采用最新的 EUV 微影技術。

一般業界認為三星研發能力與臺積電不相上下,但制造管理,不如臺積電。最先進的 7 納米智能手機 IC,內部結構高達 100 層,而且部分結構得用到復雜的 4P4E 微影技術,大幅拉長生產周期。

只有臺積電有本事,在客戶能容忍的時間,以傳統微影技術生產出 7 納米 IC?!芭_積電想先獨占市場,因為只有他可以做。”一位 IC 設計大廠主管說。

而三星別無選擇,只能等待預計明年性能才能達到量產要求的 EUV 顯影技術,該技術的光線極細,可大幅加快生產速度,但設備價格極為昂貴。

然而,為何臺積電的制造能力能夠遙遙領先對手?

答案在技術論壇另一個演講。臺積電 12 寸廠技術委員會處長黃裕峰,主講臺積電的“智慧精準制造”,也就是類似“工業 4.0”的概念。

他表示,臺積電先進制造環境已采用“獨特的專家系統,和先進演算法,類神經網絡自我學習的模式”。

在工廠管理部分,10 納米產線收集的資料量,是過去 40 納米的 10 倍。臺積電以大數據與機械學習的方式,善用這些資料。

以一個月產 30 萬片的晶圓廠為例,場內 3 千臺生產機臺,每天會產生 800 萬的派工命令,臺積電的工廠管理系統,可以在一分鐘之內計算出最佳的生產排列組合。成果是,準時交貨率 99.5%,產品生產周期 1~1.2 天。

第二,是制程精密控制方面,隨著電晶體的尺度小到逼近物理極限,制程要控制的厚度變異量,甚至比一個原子要小。10 納米世代與 28 納米相比,控制參數多上 20 倍。

因此,每臺生產機臺裝了上千個感測器,臺積電更發展出精密的調機系統,大數據分析過去累積很多調機記錄,再根據當下的機臺狀況,即時回饋一個最佳的調機參數組合,例如溫度、氣體流量、電流等。

第三,工廠一致性(fab matching),要確保在不同廠區生產的客戶產品品質保有一致性。因此隨時監控不同廠區的機臺參數,找出生產狀況最佳者,“找出好的模范生,所有人跟他學習,學完之后,就成為我們未來的標準?!秉S裕峰說。


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