2019年1月2日,華潤微電子有限公司(“華潤微電子”)旗下的無錫華潤上華科技有限公司(以下簡稱“華潤上華”)宣布,公司的600V半橋工藝(HVIC工藝)已實現每月穩定產出超1000片的量產記錄,累計量產逾萬片。該工藝平臺為華潤上華在國內Foundry中首家提供,光刻層數少,性價比高,電學參數和成品率穩定,經過嚴苛的工藝可靠性考核。華潤上華針對LLC電源、電機驅動等半橋驅動應用設計高性價比的HVIC工藝技術平臺,能和客戶一起快速高效地將設計產品導入,實現量產并推向市場。
華潤上華的600V半橋工藝可提供200V/600V Highside 隔離,以及200V/600V Level shift LDMOS 結構,并可集成600V高壓自舉功能(bootstrap function),其20V中壓器件單元可實現柵驅動功能,5V可選低壓器件能實現各種保護功能和邏輯處理功能。該工藝器件性能優越,關態耐壓典型值800V,保證足夠余量,開態SOA (脈沖工作狀態)大于700V,并通過嚴格的工藝器件可靠性考核。其Highside 對Lowside 具有HBM 2000V ESD自保護能力,提供Vdd對GND二極管具有電壓鉗位及HBM 2000V ESD的保護能力,可向客戶提供齊備的PDK 設計工具包。該工藝多用于電機驅動、智能功率模塊(IPM)、大功率電源等產品,終端應用廣泛涉及工業機電、家用電器、智能開關、汽車電子等領域。
華潤上華市場銷售副總經理邵軍表示:“當前,中國自主的功率半導體產品與國外相比差距很大,多處于低端市場,同質化競爭激烈,由此我們也看到相關產品的國產替代空間巨大。緊抓機遇,華潤上華聚焦于功率半導體市場,將持續打造特色模擬工藝平臺,助力中國功率半導體產業發展。”
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