車載、工業電子零件要求的條件一年比一年嚴格，在這樣的情況下，能高精度測量絕對壓力、表壓、壓差的壓阻式壓力傳感器非常適合廣泛應用在這些領域中。壓力傳感器的核心部件稱作管芯（die），它是將壓力轉化為電氣輸出的傳感元件。本期推文就來為您介紹TDK壓力傳感器管芯——C43 / C44系列。

　　壓阻式壓力傳感器

　　TDK提供一系列高精度壓阻式壓力傳感MEMS管芯，有各種壓力范圍和尺寸。它們的特點是靈敏度高、設計靈活，重點放在了提高介質耐性，易于處理，整個產品壽命期間的高可靠性和穩定的信號輸出上。

　　圖1 壓阻式壓力傳感

　　C43/C44產品系列介紹

　　壓力傳感器管芯C43和C44系列能夠測量表壓（C43、C44）、正面（C43）、背面（C44）的絕對壓力。該系列是進一步提高了廣受好評的C32管芯系列的功能后得到的新產品。它們測量壓力的范圍為0···10bar～0···40bar，溫度范圍為-40 °C～+150 °C。特別是通過C44的背面受壓方式測定絕對壓力時，液體、氣體等介質的壓力施加在管芯的背面，所以可以完全防止這些介質與上表面的電子電路構成面的接觸。

　　圖2 C43 / C44系列

　　C43/C44管芯的主要特點

　　01加壓界限提高

　　C43 / C44系列的加壓界限大幅提高，最大150bar，有力地擴充了TDK面向高壓應用的壓力傳感器管芯的產品系列。這種加壓界限的顯著上升是通過增加玻璃基座的陽極結合面積，減少空腔的體積實現的。

　　圖3 加壓界限提高

　　02長期穩定性

　　信號輸出的精度在整個耐用期間都在±0.1%以內（滿量程），長期穩定性非常好，這也是一大特點。此外，為了限制對管芯性能的電磁、電化學影響，直接對MEMS的多層結構進行電氣密封。

　　圖4 長期穩定性

　　長期穩定性試驗的步驟：

　　關于上述試驗、“長期穩定性”的定義的詳細信息，請參考TDK公司網站的“AS標準100001”。

　　03通過現有傳感器封裝進行升級

　　對加壓界限需求更高的客戶，就可以通過與現行的C32管芯系列相同的傳感器封裝使用C43與C44系列。該系列焊盤的配置、高度和安裝面積與C32相同，但是加壓界限更高。買元器件現貨上唯樣商城。

　　圖5 通過現有傳感器封裝進行升級

　　MSMS管芯C44的特殊功能

　　圖6 MEMS管芯C44的特殊功能

　　產品概要

　　01車載應用

　　在汽車領域，傳感器被用于測量不同介質的壓力，對動力傳動系統的管理、安全系統提供支持。對于以往的汽油內燃機汽車，為了提高燃油經濟性，需要使用傳感器對發動機進行精確的控制。另外，對于處理廢氣，削減有害氣體的排放，傳感器也是不可缺少的。另一方面，在電動汽車的電力驅動系統、氫燃料電池應用方面，也需要傳感器來協助管理蓄電池、燃料電池。

　　為了讓制動器、變速器、空氣懸架、供暖/通風/空調 （heating, ventilating and air conditioning: HVAC） 等各種車載組件也能有效發揮功能，精確監測各種介質的壓力是不可或缺的。在含有液壓油等液體的系統中，局部壓力可能上升（稱為壓力峰值），這可能會損傷傳感器管芯。C43和C44系列具有較高的加壓界限，十分結實，在這些峰值壓力下運行也能充分承受壓力，降低管芯故障的風險。

　　為了滿足最新車載系統的嚴格要求，傳感器的長期穩定性、高精度的壓力檢測不可或缺。

　　02工業應用

　　在工業設備、系統中，壓力傳感器被用于水壓、空氣壓力驅動的機械、建筑HVAC系統、能源管理和水管理等中的控制和診斷。它已經成為測定、控制技術不可或缺的重要組件。與氣體填充系統相比，使用液體的應用需要更高的加壓界限。壓力峰值一般發生在泵、閥門、執行器的初始運行期間。C43 / C44系列將在這些需要高加壓界限（脹裂壓力）的應用中發揮真正的價值。

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