12 月 11 日消息，Lam Research 泛林集團當地時間昨日對其打造的世界首款專為半導體制造設備維護打造的協作機器人（注：Collaborative Robot）Dextro 進行了介紹，并表示該型機器人已獲全球多家先進晶圓廠應用。

Dextro 協作機器人是一種位于推車上的可移動機械臂裝置，由制造技術人員或工程師進行控制，借助各種“手部工具”能很好地完成三項關鍵設備維護任務：

在安裝和壓縮易損件時精度是人手的 2 倍；

精確擰緊高精度真空密封螺栓，人類員工用手完成這一重復性任務時錯誤率高達 5%；

無需拆卸下腔室即可自動化去除腔室側壁上的任何聚合物堆積，以往人類需要配備重型呼吸防護設備才能執行此類任務。

這意味著 Dextro 可幫助晶圓廠工程師分擔通常耗時、容易出錯或危險的維護任務，提升工藝整體精確度，減少勞動力需求、降低浪費、縮短停機，從而最終提高晶圓廠產量。

泛林表示單個 Dextro 協作機器人能為 50 到 100 個泛林工具腔室提供服務，目前已可用于旗下 Flex G / H 系列介電刻蝕工具的支持工作，自 2025 年開始將擴展至其它工具和應用。

三星電子副總裁兼內存蝕刻技術團隊負責人 Kim Young Ju 表示：

當制造設備需要維護時，必須快速高效地完成工作，以避免延長工具停機時間和浪費成本。

Dextro 的無差錯維護有助于推動生產在可變性和產量上的改進。這是三星邁向自主工廠的一個激動人心的里程碑。