一種基于MEMS的小型化雙通帶寬帶濾波器芯片
所屬分類:技術(shù)論文
上傳者:aetmagazine
文檔大小:716 K
標(biāo)簽: 雙通帶 寬帶 帶通濾波器
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文檔介紹:基于Micro-Electro-Mechanical System(MEMS)工藝,采用雙層諧振腔濾波結(jié)構(gòu),分析并設(shè)計了一種基于MEMS的硅基Substrate Integrated Waveguide(SIW)雙通帶寬帶帶通濾波器芯片。設(shè)計的濾波器芯片在21.25~29 GHz以及43~47.5 GHz雙通帶頻帶內(nèi)插入損耗小于3 dB,相對帶寬分別為30%以及10%,帶外抑制度大于20 dB,并且在雙通帶間產(chǎn)生了零點,尺寸僅為4.2 mm×1.1 mm×0.8 mm。該濾波器是平面堆疊結(jié)構(gòu),具有體積小、頻帶寬、易集成等優(yōu)點,有較好的應(yīng)用價值。
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