| 諧振微懸臂梁傳感器的工作原理及其在生化檢測中的研究進展 | |
| 所屬分類：技術(shù)論文 | |
| 上傳者：zhoubin333 | |
| 文檔大小：7038 K | |
| 標簽： 諧振式傳感器 微懸臂梁 微機電系統(tǒng) | |
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| 文檔介紹：諧振微懸臂梁是一種可以將質(zhì)量變化轉(zhuǎn)換為頻率信號的微質(zhì)量型傳感器，因其分辨率高、靈敏度高、成本低、易于集成和小型化等優(yōu)點而備受關(guān)注。諧振微懸臂梁現(xiàn)已被廣泛應用于流量控制、生物醫(yī)學痕量檢測、氣態(tài)和液態(tài)分子分析等領(lǐng)域。近年來，隨著微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）技術(shù)的快速發(fā)展，針對諧振式微懸臂梁傳感器的研究與應用越來越多，對近年來諧振式微懸臂梁傳感器在環(huán)境檢測、生物醫(yī)學等領(lǐng)域的具體應用進行了綜述，并對未來的發(fā)展方向做出了展望。 | |
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