| 基于阻抗匹配器的二極管幅-相檢測電路設(shè)計 | |
| 所屬分類：技術(shù)論文 | |
| 上傳者：zhoubin333 | |
| 文檔大小：4706 K | |
| 標(biāo)簽： 阻抗匹配 Urms 幅值-相位信號 | |
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| 文檔介紹：半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的競爭很大程度上取決于半導(dǎo)體裝備以及核心零部件的競爭，如射頻電源、阻抗匹配器等。設(shè)備的抗干擾能力以及穩(wěn)定性等特性是衡量設(shè)備優(yōu)劣的重要標(biāo)準(zhǔn)。對于阻抗匹配器而言，控制回路的精準(zhǔn)、穩(wěn)定以及快速響應(yīng)是決定阻抗匹配器這款產(chǎn)品性能好壞的重要指標(biāo)。因此，基于電容分壓采樣、電流互感器采樣以及運(yùn)放電路等相關(guān)原理，設(shè)計了一款純硬件電路的阻抗幅值、相位檢測回路，并用仿真軟件ADS2021進(jìn)行模擬仿真實(shí)驗，得到表征射頻電源和負(fù)載之間阻抗匹配程度的模擬量Urms。通過實(shí)驗測試表明，Urms越大表征射頻源與負(fù)載之間失配越嚴(yán)重，功率傳輸效率越低；Urms越小表征射頻源和負(fù)載之間的匹配程度越好，功率傳輸效率越高。同時，通過改變母線信號的輸入功率，得到Urms與輸入功率具有較高的線性相關(guān)性，因此該檢測回路具有很好的穩(wěn)定性，能夠適用于寬范圍匹配器阻抗的幅值、相位檢測。 | |
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