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國產(chǎn)芯片再獲新技術(shù),無需EUV光刻機也能實現(xiàn)7納米

2023-02-14
來源:柏銘007
關(guān)鍵詞: 芯片 EUV 光刻機 ASML

美國眼見著中國已量產(chǎn)14納米,開始不斷收緊限制,最近更是拉攏了ASML、尼康等光刻機企業(yè),試圖從先進光刻機上著手,阻止中國研發(fā)更先進的10納米、7納米技術(shù),然而近期中國有芯片企業(yè)卻公布了一項新技術(shù),可以用現(xiàn)有的DUV光刻機就能量產(chǎn)10納米乃至7納米工藝。




據(jù)悉中國一家芯片企業(yè)已研發(fā)了一項SAQP技術(shù),這項技術(shù)可以利用現(xiàn)有的DUV光刻機開發(fā)出10納米工藝,證明中國基于現(xiàn)有的芯片設(shè)備在芯片制造工藝方面又邁出了重要一步。


業(yè)界人士指出SAQP技術(shù)不僅可以利用現(xiàn)有的DUV光刻機開發(fā)10納米工藝,還能進一步開發(fā)出7納米工藝。這是完全有可行性的,日本的NIL工藝就無需EUV光刻機可以開發(fā)出5納米工藝,美光開發(fā)的1-beta工藝也無需EUV光刻機,臺積電第一代7納米工藝同樣是以DUV光刻機生產(chǎn)。


SAQP全稱是四重曝光技術(shù),即使以現(xiàn)有的DUV光刻機經(jīng)過多重曝光,最終實現(xiàn)10納米乃至7納米的量產(chǎn),這樣的方式可以有效降低成本,畢竟EUV光刻機的價格可是DUV光刻機的數(shù)倍,美光選擇繞開EUV光刻機就是為了節(jié)省成本,而性能方面卻能接近EUV光刻機的工藝。


如今中國也成功研發(fā)出無需EUV光刻機的先進工藝,對于中國芯片來說無疑是巨大的進步,尤其是這種方式還能大幅降低先進工藝的成本,有助于增強中國芯片的競爭力,此前美國家電制造商就認可了中國芯片的超低成本優(yōu)勢,這是中國芯片所特有的競爭優(yōu)勢。




中國開發(fā)的SAQP技術(shù),說到底還是基于現(xiàn)有的硅基芯片技術(shù),而硅基芯片以美國為首的西方經(jīng)濟體近百年的積累,讓他們擁有了足夠的領(lǐng)先優(yōu)勢,中國在硅基芯片技術(shù)上終究只能成為跟隨者,為了真正實現(xiàn)趕超,中國已開始研發(fā)更先進的芯片技術(shù)。


中國已分別籌建了全球第一條光子芯片生產(chǎn)線、量子芯片生產(chǎn)線,這將推動這兩項先進芯片技術(shù)早日實現(xiàn)商用,這些芯片技術(shù)可以將芯片性能提升千倍,而功耗大幅下降,這才是未來的先進芯片技術(shù)。


另一項先進芯片技術(shù)被稱為石墨烯技術(shù),中國同樣也在推進,并已有多家中國企業(yè)取得石墨烯技術(shù)專利;美國也在力推石墨烯芯片技術(shù),美國一家初創(chuàng)芯片企業(yè)表示在現(xiàn)有硅基芯片注入碳納米管,以90納米生產(chǎn)的芯片性能卻比7納米芯片提升50倍性能。


這些先進芯片的技術(shù)商用,將徹底變革當(dāng)下的硅基芯片技術(shù),將再也無需EUV光刻機等先進光刻機,這對于ASML無疑將是巨大的打擊。事實上ASML也已認識到它的第二代EUV光刻機量產(chǎn),基本就已經(jīng)到了硅基芯片的極限,全球芯片行業(yè)需要引入更先進的芯片技術(shù),而中國加速了這些先進芯片技術(shù)的推進,將讓ASML的輝煌提前結(jié)束。




中國芯片這幾年的表現(xiàn)顯示出中國芯片所具有的強大技術(shù)實力,如今在美國的壓迫下,中國芯片行業(yè)已被激發(fā)了巨大的潛力,不斷加速各種先進芯片技術(shù)的發(fā)展,一旦這些先進芯片技術(shù)實現(xiàn)商用,那么中國將取得領(lǐng)先優(yōu)勢,將再也不會受制于美國。




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